產(chǎn)品描述
PS2H45系列由兩維X軸疊加組合，沿X，Y軸提供12、30、50、70或100 μm的運(yùn)動范圍。（標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品行程為12μm，其它行程均可定制）。
PS2H45系列納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分，可提供大功率控制器，使其進(jìn)行超高速驅(qū)動運(yùn)動。
PS2H45-012U系列是具有納米級定位分辨率的高速，多軸，精密納米定位系統(tǒng)。本系列產(chǎn)品提供*大的多功能性�？蛇x配內(nèi)部位置傳感器進(jìn)行閉環(huán)，可進(jìn)行重復(fù)的位置測量。
體積小，具有超高諧振頻率，高穩(wěn)定性，高精度使其非常適合需要低噪聲和高速性能的計(jì)量應(yīng)用。參數(shù)可根據(jù)客戶要求定制。
PS2H45-012U系列壓電陶瓷元件直接移動工作臺面，具有高剛性，即使在高負(fù)載下可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定定位。
產(chǎn)品特性
—高速1ms響應(yīng)，多軸定位
—超快的響應(yīng)時間
—亞納米范圍內(nèi)的高分辨率
—高度緊湊的設(shè)計(jì)帶來卓越的性能
選配功能
—可定制固定、負(fù)載安裝孔位及轉(zhuǎn)接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可提供XZ/XYZ版本
應(yīng)用領(lǐng)域
—高運(yùn)動平面度和直線度的納米定位
—測量、計(jì)量
—掩模/晶圓定位
—表面測量技術(shù) |
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光學(xué)儀器
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