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武漢歐屹光電科技有限公司

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聯(lián)系人：劉總先生 (總經(jīng)理)

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手機(jī)：18571647990

產(chǎn)品目錄

武漢光纖激光晶圓劃片機(jī)硅片切割加工

詳細(xì)說明

光纖激光晶圓劃片機(jī)

型號(hào):OOI-FJ20

規(guī)格:光纖激光晶圓劃片機(jī)

光纖晶圓激光劃片機(jī)產(chǎn)品介紹：

自主研發(fā)的紅外激光晶圓劃片機(jī)OOI-FJ20具有國際先進(jìn)水平，采用1064nm紅外激光作為切割工具，切割線條質(zhì)量優(yōu)越，無接觸式加工避免加工產(chǎn)生應(yīng)力，可以提高晶粒的切割質(zhì)量和效率，切割后的芯片具有優(yōu)良的電學(xué)特性。該機(jī)具有劃片速度快、操作便捷、維護(hù)成本低等優(yōu)點(diǎn)，適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)單臺(tái)面玻璃鈍化二極管晶圓的切割劃片。

光纖晶圓激光劃片機(jī)產(chǎn)品優(yōu)勢：

1.切割速度快，對于單臺(tái)面玻璃鈍化二極管晶圓的切割速度達(dá)到了150mm/s，是傳統(tǒng)刀片劃片機(jī)正切速度的15-20倍、背切速度的3-5倍；

2.加工品質(zhì)高，光束質(zhì)量好，適用于精密、精細(xì)劃片，切割過程無機(jī)械應(yīng)力產(chǎn)生，有效減少芯片背崩及微裂紋；

3.運(yùn)行成本低，平均無故障使用時(shí)間可達(dá)10萬小時(shí)，電光轉(zhuǎn)換效率高，設(shè)備功率低于2KW，長期使用可為用戶節(jié)省大量的能耗支出；

4.操作簡便，自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的操作軟件，功能強(qiáng)大，能對40mm以下的正方形芯片圖像識(shí)別自動(dòng)對位切割。

5.歐屹光電OOI-FJ20紅外激光晶圓劃片機(jī)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè)單臺(tái)面玻璃鈍化二極管晶圓的切割劃片。

光纖晶圓激光劃片機(jī)技術(shù)參數(shù)：

名稱光纖晶圓激光劃片機(jī)

波長 1064nm

激光功率 20W

定位精度 ±3μm

XY光柵尺分辨率 0.1μm

Z軸精度 ±1μm

旋轉(zhuǎn)軸精度 ±20″

CCD定位精度 1-2μm

重復(fù)定位精度 ±1μm

工作臺(tái)有效行程 300mm×300mm

*大切割尺寸 6英寸

切割線寬 30-50μm

切割深度 80-120μm

切割速度 1-150mm/s

湖北省武漢市江夏區(qū)藏龍島科技園楊橋湖大道13號(hào)

電話：18571643990

聯(lián)系人：劉總

武漢歐屹光電科技有限公司背景：

武漢歐屹光電科技有限公司成立于2013年4月，坐落于美麗的中國光谷——武漢東湖高新技術(shù)開發(fā)區(qū)，湯遜湖畔。武漢歐屹光電科技有限公司，依托華中科技大學(xué)，武漢理工大學(xué)等科研院校指導(dǎo)，在光電、激光和工業(yè)自動(dòng)化集成、太陽能光伏行業(yè)擁有多年從業(yè)經(jīng)驗(yàn)的優(yōu)秀研發(fā)銷售團(tuán)隊(duì)，具有雄厚的科研、生產(chǎn)、加工能力，我們致力于為國內(nèi)外客戶提供完整的工業(yè)激光應(yīng)用和自動(dòng)化集成解決方案提供商，開拓國際市場光電應(yīng)用市場和太陽能組件產(chǎn)線封裝產(chǎn)線市場。定位于激光精密微細(xì)加工與自動(dòng)化配套的結(jié)合；尤其是在激光在工業(yè)自動(dòng)化產(chǎn)線、精密加工、光伏行業(yè)的實(shí)際工程應(yīng)用與推廣。在國際光伏市場太陽能電池組件半自動(dòng)，全自動(dòng)產(chǎn)線廠房設(shè)計(jì)，設(shè)備提供安裝，人員培訓(xùn)全套完整方案。