Simco-Ion 5810i 懸掛型離子風(fēng)機,設(shè)計配合關(guān)鍵環(huán)境的要求,擁有業(yè)界領(lǐng)先的離子平衡控制性能;取得ISO Class 4 潔凈房內(nèi)使用的認證,在潔凈環(huán)境下,提供優(yōu)越的效能。采用專用的穩(wěn)態(tài)直流電離技術(shù),能消除 ESD 和所引起的電磁干擾,在先進生產(chǎn)設(shè)施內(nèi),也可提供離子輸出。能外接感應(yīng)器,隨環(huán)境調(diào)整離子輸出,以達至和維持 少于 ±1 V 的離子平衡。
5810i 選用 Silicon Free 空氣軸承風(fēng)扇,每個風(fēng)扇的其他部分和外殼,都是密封和經(jīng)過清潔處理,完全符合現(xiàn)今潔凈房的生產(chǎn)環(huán)境,兼容關(guān)鍵潔凈的制程。如使用的離子風(fēng)機,不符合潔凈標準,會有污染制程的風(fēng)險,降低良率。
5810i 離子風(fēng)機可利用 AC 輸出接口串聯(lián)其他的 5810i離子風(fēng)機共同工作,多可串聯(lián)十臺。
特點
±3 V 或更好的離子平衡 (配合選配的外接回饋系統(tǒng)能達至±1 V)
選配的外接感應(yīng)器,設(shè)備監(jiān)控接口,報警和控制管理
選配的自動清潔系統(tǒng)
優(yōu)點
在電暈放電技術(shù)的靜電防護中,提供保護和產(chǎn)出
提供瞬時報警通知,和避免擅自調(diào)整效能和風(fēng)速
自動清潔靜電針組,減少維護時間和成本
±1V 操作
5810i 離子風(fēng)機的選配外接感應(yīng)器, 可接連Novx Process Monitor 7000 系列,Novx 被動檢測系統(tǒng) 3352 系列,和Novx 主動檢測系統(tǒng)3362 系列,作出檢測和自動調(diào)整離子平衡。把天線放到目標位置, 信號會回饋到 5810i的控制線路,以達到和維持離子平衡在±1 V或更好的效能。 |