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深圳銘凱盛電子設(shè)備有限公司
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手 機(jī):13923897656  |
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| 等離子主機(jī) 等離子表面活化 晶圓等離子清洗 PLASMI清洗 |
1、等離子清洗的原理:對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,達(dá)到對(duì)材料表面清洗、蝕刻、活化等效果。
(1)對(duì)材料表面的刻蝕作用--物理作用:
等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,作用到固體樣品表面,不但清除 了表面原有的污染物和雜質(zhì),而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細(xì)坑洼,增大了 樣品的比表面。提高固體表面的潤(rùn)濕性能。
(2)激活鍵能--交聯(lián)作用:
等離子體中的粒子能量在 0~20eV,而聚合物中大部分的鍵能在 0~10eV,因此等離子體作用到固體表面后,可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂,等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu),大大地激活了表面活性。
(3)形成新的官能團(tuán)--化學(xué)作用:
如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體,那么在活化的材料表面會(huì)發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),引入新的官能團(tuán),如烴基、氨基、羧基等,這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán),能明顯提高材料表面活性。
2、等離子設(shè)備原理:等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為四大部分組成:控制系統(tǒng)、激勵(lì)電源系統(tǒng)、xyz三軸動(dòng)力系統(tǒng)、工藝氣體系統(tǒng)。 |
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