APC200壓力&流量控制器APC200-0O-O-I-N
APC200壓流控制器基本上是為電容壓力計(jì)提供一個(gè)電源(±15VDC)，與之相應(yīng)的壓力信號(hào)連接顯示器，同時(shí)使用PID排氣節(jié)流閥節(jié)流閥或Self-Tuning功能將壓力控制連接起來(lái)的系統(tǒng)，其中,使用“Self-Tuning”功能,可根據(jù)流入室中氣體的量、泵抽速度、閥位中的真空壓力變化,以及其他重要的參數(shù)感知壓力控制系數(shù)。使用此功能作壓力控制時(shí),可以更快地達(dá)到所需的壓力。內(nèi)置2個(gè)過(guò)程限制繼電器,可幫助用戶集成在裝備中。
特點(diǎn)
至多可以連接4個(gè)MFC的PCB卡，每張PCB由2通道(2個(gè)MFC)組成。
標(biāo)準(zhǔn)的面板安裝,通訊方式I/O或RS-232遠(yuǎn)程(RS-485選項(xiàng))，實(shí)現(xiàn)所有遠(yuǎn)程控制都是可能的。
規(guī)格
閥門(mén)操作 ATV1000排氣節(jié)流閥，MKS型653和253排氣節(jié)流閥及其他
壓力輸入信號(hào) 標(biāo)準(zhǔn)0-10Vdc
輸入功率要求 90-132或180-264 VAC, 50/60 Hz
設(shè)置點(diǎn)
可編程的
外部模擬 總共5個(gè)，可在任何組合中編程，用于壓力或閥位置
（可從前面板調(diào)節(jié)或從前面板旋轉(zhuǎn)RS232設(shè)定、TTL或RS232）
0-10VDC
控制器重復(fù)性 ±0.1% F.S
環(huán)境運(yùn)行溫度 15℃ - 45℃
輸出功率 ±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp
模擬量輸出信號(hào) 0 - 10vdc用于0-100%閥門(mén)位置,0 - 10vdc用于1-100%滿量程壓力
尺寸 1/2機(jī)架安裝:88mm 寬 x 241mm 長(zhǎng) x 225 高
顯示 LCD(壓力、位置和外部設(shè)定點(diǎn)讀數(shù))
顯示單位 Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH20, inH20, mbar, kpa 標(biāo)準(zhǔn)
PID控制 標(biāo)準(zhǔn)
遠(yuǎn)程零點(diǎn) 標(biāo)準(zhǔn)
接口 前面板設(shè)置，模擬，TTL和RS232，（RS-485選項(xiàng)）
繼電器輸出 2個(gè)過(guò)程繼電器: 24 Volts AC/DC 0.5Amp 電阻
遠(yuǎn)程控制
（打開(kāi)、關(guān)閉、保持） 標(biāo)準(zhǔn)
位置控制能力 標(biāo)準(zhǔn) |
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