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天津吉兆源科技有限公司
| 聯(lián)系人：王麗
女士 (銷(xiāo)售經(jīng)理) |
| 電 話：18610611799 |
手 機(jī)：18526680128  |
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| 13.56MHz射頻電源（大功率） |
產(chǎn)品性能
該電源輸出功率可達(dá)2500W到5000W ，頻 率13.56MHz，標(biāo)準(zhǔn)正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩(wěn)定、可重復(fù)等優(yōu)點(diǎn)。其固態(tài)設(shè)計(jì)使得該產(chǎn)品價(jià)格低、可靠性高。電源采用大屏幕液晶顯示：設(shè)定功率、入射功率、反射功率、狀態(tài)等參數(shù)，同時(shí)還可以顯示匹配器的運(yùn)行參數(shù)并且通過(guò)電源面板可操作射頻匹配器。
應(yīng)用對(duì)象
該電源可以作為射頻驅(qū)動(dòng)等離子體系統(tǒng)的電源，該系統(tǒng)可應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)。應(yīng)用對(duì)象包括：刻蝕、RIE、平行板、ICP、磁控濺射、CVD、PVD、等離子清洗和PECVD等系統(tǒng)。 |
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