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成都奮羽電子科技有限公司
| 聯(lián)系人：李
女士 (市場(chǎng)總監(jiān)) |
| 電 話(huà)：028-62093780 |
手 機(jī)：18782291835  |
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| 遠(yuǎn)程微波等離子源RPS |
 奮羽電子完全 自由知識(shí)產(chǎn)權(quán)產(chǎn)品
 可根據(jù)客戶(hù)需求提供定制化服務(wù)：功率、處理面積、腔體設(shè)計(jì)等
 固態(tài)微波源和磁控管微波源兩種版本可選
項(xiàng)目 固態(tài)源版本 磁控管版本
輸出功率 3kW 3kW
輸出頻率 2450MHz±25MHz 2450MHz±25MHz
頻率誤差 ±50ppm 2%-3%
微波泄露 ≤2mW/cm2 ≤2mW/cm2
供電電壓 AC380V±10% AC380V±10%
供電頻率 50Hz±2Hz 50Hz±2Hz
進(jìn)/出水口 1/8寶塔接頭 DN15
冷卻方式 水冷 水冷
控制接口 RS485通信協(xié)議 具備本地觸摸屏控制及遠(yuǎn)程通訊功能
工藝氣體 Ar、O2、H2、CF4等（CF4需配耐刻蝕材料） Ar、O2、H2、CF4等（CF4需配耐刻蝕材料） |
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